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瑞士VAT閥VAT 24.5 內聯(lián)閥 角閥的關鍵性能指標是可靠性與可變性。24.5 內聯(lián)閥系列結合了可靠性和可變性。該系列旨在針對高污染甚至輕微污染的氣流實現(xiàn)大尺寸建造。目前已生產出 DN 高達 800 mm (32“) 的內聯(lián)閥。

瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥（三/雙向型） 25.2 高真空鋼瓶閥系列旨在用于包含攜帶腐蝕性物質和粒子的氣體的惡劣工藝環(huán)境中，例如次晶圓廠工藝。該系列有角度 (25.0)、串聯(lián) (25.1) 和 3向2通路設計 (25.2) 可供選擇，每個版本均采用最大電導率。

瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥 59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥 滿足超高真空要求

瑞士VAT閥21.1 氣體計量閥 21.1 氣體計量閥 真空室的受控、可再現(xiàn)氣流引入

瑞士VAT閥22.0 隔膜閥 22.0 隔膜閥 氣體和液體的多功能解決方案 22.0 隔膜閥基于隔膜原理，具有高導電性，機械部件與介質隔離。它配有耐用的氟橡膠隔膜，可根據(jù)需要輕松更換該隔膜。

瑞士VAT閥快速關閉/梁式止動閥 快速關閉/梁式止動閥 一類特殊的保護閥，在發(fā)生泄漏時，可以防止不受控制的壓力上升或污染的氣體流入工藝區(qū)。擋束閥允許快速中斷加速器系統(tǒng)中的粒子或能量輻射。