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簡要描述：瑞士VAT閥21.1 氣體計量閥21.1 氣體計量閥真空室的受控、可再現(xiàn)氣流引入
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瑞士VAT閥21.1 氣體計量閥
現(xiàn)代氣體計量閥的關(guān)鍵性能指標是其可控性以及精確可靠地重現(xiàn)流量設(shè)置的能力。而 21.1 氣體計量閥系列提供了這兩項功能。
21.1 系列有兩種類型，一種用于粗略的氣體計量（DN為10 mm，?"），另一種用于精確的氣體計量（DN 為16 mm，5/8"）；由于其獨立的關(guān)閉和加藥針校準功能，21.1 系列可在不丟失定義流量設(shè)置的情況下關(guān)閉。使用針校準方向盤，可以將針位置和流量設(shè)置微調(diào)成所需設(shè)置。由于打開/關(guān)閉機構(gòu)的運行獨立于計量機構(gòu)，此設(shè)置可在閥門開啟和關(guān)閉期間維持。
21.1系列已經(jīng)在各種工藝條件下進行了數(shù)千次要求苛刻的應(yīng)用測試，證明了可靠性。
21.1氣體計量閥有兩種類型，分別用于粗略氣體計量（DN 為10 mm，?"）和手動方向盤驅(qū)動的精確氣體計量（DN 為16 mm，5/8"）。粗略氣體計量閥體為鋁材質(zhì)，精確氣體計量 閥體由不銹鋼制成。兩種類型都有 ISO-KF 法蘭。精確氣體計量閥有額外的過濾器真空側(cè)。
流量控制范圍廣
集成截止閥
可在不丟失流量設(shè)置的情況下關(guān)閉
優(yōu)勢：
可靠性和使用壽命
出色的可控性
購置成本低
瑞士VAT閥21.1 氣體計量閥
粗略氣體計量閥 | 精確氣體計量閥 | ||
|---|---|---|---|
泄漏率 | 閥體、閥座 | 1× 10-8 mbar ls-1 | 1× 10-9 mbar ls-1 |
壓力范圍 | 1 × 10-7 mbar to 4 bar (絕對壓強) | 1 × 10-7 mbar to 2.5 bar (絕對壓強) | |
可控氣流 | 最小為 40mbar l/s 最大為 1700mbar l/s | 最小為5 × 10-6 mbar l/s 最大為1000 mbar l/s | |
死區(qū) | - | 0.032 cm3 | |
溫度 | 烘烤 ≤100℃ | 運行 ≤80℃ 烘烤 ≤100℃ | |
材料 | 閥體 | EN AW-6082 T6 | AISI 304 (1.4301) |
驅(qū)動器 | 塑料（聚甲醛） | 塑料（聚甲醛） | |
計量套筒 | - | 含氟聚合物 | |
密封 | 氟橡膠 | 氟橡膠 | |
安裝位置 | 任何位置 | 任何位置 | |
重量 | 0.2 kg/0.44 lbs | 0.4 kg/0.88 lbs |
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